對于食品工廠設計來說，潔凈室需要的純水是必須有出去微粒的，這里所述的“微粒”是一個很廣的范圍，從小于1mm的無機砂到膠體、細菌等微粒。
一、凝聚過濾
對于自來水來說,水中的懸浮物也是微量的,主要是以膠體(以“濁度”表征)形式出現。膠體是一種帶電的細小微粒,直接采用砂過濾效果不佳,目前通常采用微絮凝過濾技術效果較好。微絮凝過濾是在過濾前投加凝聚劑,使分散的膠體凝聚成較大的絮凝狀的大團粒,再經砂過濾或多介質過濾(由聚苯乙烯塑料珠、無煙煤、碎燧石砂、石榴石和磁鐵礦等多層濾料組成),可以達到非常理想的效果。特別是系統中有反滲透裝置,為了達到其進水水質的要求(SDI<4)采用微絮凝過濾是非常有效的。
二、微孔過濾(MF)
微孔過濾也是一種膜分離技術,其過濾精度在10~0.1μm。它比UF、RO膜的孔徑大得多,水流100%透過膜(UF、RO水流為切向,不是100%透過膜,有濃水產生)易堵塞不能清洗。但它過濾精度高(可達100%),被稱為絕對過濾。在純水系統的精處理的最后階段用以保證最后出水的微粒含量。
微孔過濾膜可以由醋酸纖維素(CA)、聚四氟乙烯(PTFE)、尼龍、聚偏氟乙烯(PVDF)等材料制成。膜的維件一般為折疊筒狀,標準組件為65mm×250mm。
三、超過濾(UF)
超過濾和RO一樣是一種切向流的膜分離技術,它不像MF水流100%透過膜,而是水流與膜面平行,90%~95%的原水透過膜,其余成為濃水排出。由于水流與膜面平行被膜截留的微粒不斷被沖走,最后被濃水帶出。當膜被堵塞超過濾裝置是可以清洗的,其方式是進行膜面的高速清洗,將膜面積存污物沖出。
超濾膜的過濾精度是以截留相對分子質量大小來表示的。用于超純水系統的大多為5000~20000,膜材料大多為聚砜制成,膜組件的形式為中空纖維式。中空纖維膜外徑為1~1.2mm,內徑為0.7~0.8mm的纖維管。典型的膜組件為直徑114×L1200的筒狀結構，組件內的膜面積約7平米,產水量約1~2平米/h。
近來,開發了耐熱材料制作的膜組件,打破了只能用藥劑殺菌的局限,可以用溫水或熱水殺菌(膜組件耐熱80℃甚至12℃),適用于醫藥工業的應用。
由于超過濾易于堵塞,因此在運行中需定時清洗。一般采用多個組件并聯運行,定時循環清洗每個組件。
用于集成電路生產的純水系統精處理的超過濾必須具備以下幾個條件。
1、具有良好的去除微生物、微粒及膠體物質的性能。
2、不應降低電阻率。
3、滅菌及長期停用后電阻率恢復快。
4、使用過程中膜老化速度慢。
5、盡可能耐多種殺菌劑及清洗劑。
6、透水量大。
近來將超過濾用于純水系統的預處理階段代替經典的凝聚過濾也取得了進展。