潔凈車間的凈化空調(diào)系統(tǒng)根據(jù)大氣含塵濃度、大氣中各種污染物濃度和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點及要求配置各類空氣過濾器——粗效、中效、高中效、亞高效和高效、超高效以及化學過濾器等。具體凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過濾器的配置和選用應根據(jù)潔凈室的空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的特殊要求(當工藝無特殊要求時,一般都是按空氣潔凈度等級配置)合理配置和選用,對于6級(1000級)和比6級潔凈度差的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)通常采用三級空氣過濾,即粗效、中效和髙效過濾器;粗效、中效(或中高效)過濾器,通常設在空氣處理裝置(AHU)內(nèi),且將中效或中高效設在正壓段;高效或亞高效過濾器一般設在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,也有將高效過濾器集中設在集中的空氣處理裝置(AHU)內(nèi),但此時應對送風管道提出嚴格的清潔要求,以避免凈化后的空氣被污染。對于5級(100級)和更嚴格的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過濾器的配置,應根據(jù)潔凈室的總體設計方案及采用的凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求配置各類過濾器,比如有的集成電路生產(chǎn)用4級(0.1μm)和更嚴要求的潔凈室采用新風集中處理,為了嚴格去除大氣中的微粒和各種污染物,通常在新風處理裝置中設置粗效、中效(中高效)、亞高效甚至高效過濾器和化學過濾器或水噴淋裝置等;在潔凈室的循環(huán)風系統(tǒng)還設有高效、超高效和化學過濾器等;有的集成電路生產(chǎn)用潔凈室還在生產(chǎn)過程的某些生產(chǎn)區(qū)、生產(chǎn)工序或工藝設備設微環(huán)境裝置,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)所需的空氣潔凈度要求。近年來,由于大氣質(zhì)量的下降,特別是除大氣塵以外的一些化學污染物或微生物等的增加,某些工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的更為嚴格的要求,在許多情況下僅僅采用“三級過濾器”的空氣凈化處理的概念已不能滿足需要,因此在進行潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)設計時,應認真了解產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和當?shù)氐拇髿赓|(zhì)量情況,實事求是地進行空氣過濾器的配置。
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空氣過濾器的額定風量是過濾器在一定的濾速下,過濾器效率和阻力合理選擇時的風量;所以在確定空氣過濾器型號規(guī)格時,一般應按小于或等于額定風量選用。有時在具體工程設計中經(jīng)過技術經(jīng)濟比較和實際可能,常常小于額定風量選用過濾器,使阻力降低,可使凈化空調(diào)系統(tǒng)的運行能量消耗下降。
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潔凈室設計者在進行空氣過濾器選型時,最為關注的是過濾器在額定風量下的效率、阻力等主要性能參數(shù),這些性能參數(shù)在各個國家地區(qū)均有各自的標準規(guī)定及相應的檢測方法，各過濾器生產(chǎn)廠家也根據(jù)以上標準制定自己的產(chǎn)品標準提供給用戶,其中過濾器效率的標準、試驗方法各不相同,歐洲在20世紀70年代便推出了EU系列空氣過濾器標準,從EU1—EU14共14個等級;20世紀90年代又推出了G-F-H-U的分級標準,共有17個等級;1996年美國也推出以C1~C4、L5~L7、M9~M12、H13~H16、UH17~UH20的過濾器效率分級標準;1999年歐洲標準委員會(CEN)又以EN1822—1發(fā)布MPPS(最易穿透粒徑)的測試方法和分級標準;在后面將介紹我國制定的空氣過濾器和高效空氣過濾器的國家標準的情況,過濾器效率分級為粗效、中效、高中效、亞高效和A、B、C、D高效過濾器等。