影響凈化車間內的空氣品質的因素很多。如：凈化車間內的新鮮空氣量的大小；室內含氧量的多少；室內的負離子數量；室內裝修安裝等材料和生產過程產生的低濃度分子級的化學污染物的情況以及生產過程中散發的酸、堿、有機等廢氣都會影響凈化車間內的空氣品質。
一、凈化車間內的新鮮空氣量
《潔凈廠房設計規范》50073-2001 中規定“保證供給凈化車間內每人每小時的新鮮空氣量不小于 40m3。”
2 、凈化車間空氣的含氧量
大氣中氧氣的含量大約占 21%，氮氣大約占 79%，其他氣體的含量占總量的比例微忽其微。
3、凈化車間空氣中的其他化學成份
凈化車間尤其電子工業用的凈化車間由于室內裝修材料以及生產用的原材料（各種氣體、溶劑等）和生產過程排放的廢氣（含酸、含堿、含有機等化學污染物）等都會向凈化車間空氣中散發大量的化學物質，不僅影響凈化車間內的空氣品質，也會污染室外大氣。
因此，在設計、建造和使用凈化車間時要重視和處理好工藝設備的局部排風和廢氣的治理。不僅工藝設備本身要加強密封，而且，還要加強通風，提高排風效果，作好氣流組織，使凈化車間內的空氣品質得以改善。